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最基本的试料作成工序如下所示：

1、由于裁切出一部分试料，将样品全体用树脂包埋；

2、树脂硬化后，从样品上切下需要的试料部位；

3、裁切后的试料，按照研磨面的方向摆放整齐，再次用树脂包埋；

4、树脂硬化后，通过手动研磨，替换使用由粗到细的型号研磨纸，削出希望的部位；

5、使用自动研磨机将研磨材料的砥粒研磨得更加精细使研磨表面呈现镜面状态。

此工法由于在⑤使用了自动研磨机，所以试料尺寸需要能够包含φ25 mm、φ30 mm及φ40 mm的圆柱中的任意一个尺寸，而且，由于自动研磨机可以一次性处理同一条件的多个试料，因此可以在短时间内高精度地完成研磨。

上述圆柱无法包含试料时，包括完成工序在内全部进行手动研磨，与使用自动研磨机相比，需要更长的加工时间。另外，如果是单个试料，上述圆柱可以包含的情况下，不需要对试料全体进行树脂包埋，可以从工序③开始，由于省略了树脂包埋⇒硬化处理这两道工序，因此可以缩短加工时间，然后，对于荷重会影响试料表面研磨工序的、用于表面分析的试料（例如EBSD用、脆弱的材料），在上述①～⑤的工序中，在手动研磨工序中使用的研磨纸的型号，需要在前面阶段使用细的型号。